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SH133C 166C 6軸多關節型潔淨重物搬運機器人 適用於大型玻璃機板的搬運工序 最適用於從傾斜輸送帶取出或翻轉作業 潔淨度CLASS 1000(FED-STD-209D)
SJ25C 大型玻璃基板搬運機器人 SJ25C......可搬運第5代玻璃基板 SJ80C......可搬運第6 7代玻璃基板 SJ120C......可搬運第8 9代玻璃基板 潔淨度CLASS 10(FED-STD-209D)
SJ80C 大型玻璃基板搬運機器人 SJ25C......可搬運第5代玻璃基板 SJ80C......可搬運第6 7代玻璃基板 SJ120C......可搬運第8 9代玻璃基板 潔淨度CLASS 10(FED-STD-209D)
SJ120C 大型玻璃基板搬運機器人 SJ25C......可搬運第5代玻璃基板 SJ80C......可搬運第6 7代玻璃基板 SJ120C......可搬運第8 9代玻璃基板 潔淨度CLASS 10(FED-STD-209D)